发明人：V·D·帕科,K·马赫拉切夫,J·德拉罗
专利权人：应用材料公司
公开日：2015-12-02
公开号：CN105122439A
专利类别：发明公开
下载地址：见页末
摘要：基板支撑组件包括陶瓷定位盘与导热基底,该导热基底具有与陶瓷定位盘的下表面接合的上表面。该导热基底包括数个热区与数个热隔离器,该数个热隔离器从导热基底的上表面朝向导热基底的下表面延伸,其中该数个热隔离器中的每一个提供导热基底的上表面处的数个热区中的两个之间的近似热隔离。
内容未完全展示，请下载附件查看